陶瓷基板是指铜箔在高温下直接键合到氧化铝(Al2O3)或氮化铝(AlN)陶瓷基片表面( 单面或双面)上的特殊工艺板。所制成的超薄复合基板具有优良电绝缘性能,高导热特性,优异的软钎焊性和高的附着强度,并可像PCB板一样能刻蚀出各种图形,具有很大的载流能力。因此,陶瓷基板已成为大功率电力电子电路结构技术和互连技术的基础材料。
陶瓷基板的现状:材料多样化、结构集成化
近年来,电动汽车、电力机车以及半导体照明、航空航天、卫星通信等进入高速发展阶段,电子器件向大功率化、高频化、集成化方向发展,其元器件在工作过程中产生大量热量,这些热量如不能及时散去将影响芯片的工作效率,甚至造成半导体器件损坏而失效——对于电子器件而言,通常温度每升高10℃,器件有效寿命就降低30%~50%。
因此,为保证电子器件工作过程的稳定性,对电路板的散热能力提出了更高的要求。传统的普通基板和金属基板不能满足当下工作环境下的应用。陶瓷基板具有绝缘性能好、强度高、热膨胀系数小、优异的化学稳定性和导热性能脱颖而出,是符合当下高功率器件设备所需的性能要求。
目前,陶瓷基板的主要材料包括氧化铍(BeO)、氧化铝(Al2O3)、氮化铝(AlN)和氮化硅(Si3N4)等。
BeO陶瓷具有较高的热导率,但是其毒性和高生产成本限制了它的生产和应用。Al2O3陶瓷基板因其价格低廉、耐热冲击性好已被广泛应用,但因其热导率相对较低和热膨胀率不匹配的问题,已无法完全满足功率器件向大功率、小型化方向发展的趋势。AlN和Si3N4陶瓷基板在膨胀系数及热导率方面的优势被认为是未来的发展方向。
发展至今,陶瓷基板的结构与制作工艺也多有发展。目前,陶瓷基板按工艺可分为平面陶瓷基板和三维陶瓷基板两大类。主要的平面陶瓷基板工艺可分为薄膜陶瓷基板(TFC)、厚膜印刷陶瓷基板(TPC)、直接键合铜陶瓷基板(DBC)、活性金属焊接陶瓷基板(AMB)、直接电镀铜陶瓷基板(DPC)。目前常见的三维陶瓷基板分为高温共烧陶瓷基板(HTCC)和低温共烧陶瓷基板(LTCC)。
HTCC(High Temperature Co-fired Ceramic,高温共烧陶瓷):属于较早发展的技术,是采用陶瓷与高熔点的W、Mo等金属图案进行共烧获得的多层陶瓷基板。但由于烧结温度较高使其电极材料的选择受限,且制作成本相对昂,促使了LTCC的发展。
LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramic,低温共烧陶瓷):LTCC技术共烧温度降至约850℃,通过将多个印有金属图案的陶瓷膜片堆叠共烧,实现电路在三维空间布线。
DPC(Direct Plating Copper,直接镀铜):是在陶瓷薄膜工艺加工基础上发展起来的陶瓷电路加工工艺。以陶瓷作为线路的基板,采用溅镀工艺于基板表面复合金属层,并以电镀和光刻工艺形成电路。
全球来看,DPC陶瓷基板厂商主要分布在中国台湾和大陆地区。大概在2015年之后,中国大陆也有一些企业加入到了这个行业。
DBC(Direct Bonded Copper,直接覆铜):通过热熔式粘合法,在高温下将铜箔直接烧结到Al2O3和AlN陶瓷表面而制成复合基板。
目前全球DBC陶瓷基板,主要由德国、韩国和中国企业主导,核心厂商有德国的Rogers和贺利氏,韩国的KCC,中国的江苏富乐华半导体、合肥圣达、BYD和南京中江等。预计未来几年,中国企业将占有更大的市场份额。
AMB(Active Metal Brazing,活性金属钎焊):AMB是在DBC技术的基础上发展而来的,在 800℃左右的高温下,含有活性元素 Ti、Zr 的 AgCu 焊料在陶瓷和金属的界面润湿并反应,从而实现陶瓷与金属异质键合。
AMB陶瓷基板,目前主要也是由德国罗杰斯、日本电化Denka、等企业占有较高份额。其他厂商总体起步较晚,规模也较小,如国外企业主要有贺利氏电子、京瓷、东芝材料、同和、韩国KCC、韩国阿莫泰克AMOTECH.