氮化硅陶瓷基板金属化
氮化硅陶瓷基板机械性能非常好,硬度强,耐磨损,导热系数在85w~90w,在一些需要较强硬度和导热性的产品领域被备受欢迎。比如汽车减振器的载板、交通轨道,IGTB载板、第三代半导体等。既能作为载板起到散热很支持的作用,又能实现线路层互连,起到良好的电气性能作用,那么就需要在氮化硅陶瓷基板做金属化工艺。
一,什么是氮化硅陶瓷基板金属化
氮化硅陶瓷基板金属化,是在陶瓷基表面覆铜、或者做其他金属。目前最常见的就是覆铜。氮化硅陶瓷基板金属化后,通过线路、金属孔等可以实现层级互连作用。
二,氮化硅陶瓷基板金属化技术-AMB工艺
氮化硅陶瓷基板金属化技术多采用AMB工艺,AMB技术是指,在800℃左右的高温下,含有活性元素Ti、Zr的AgCu焊料在陶瓷和金属的界面润湿并反应,从而实现陶瓷与金属异质键合的一种工艺技术。AMB陶瓷基板,一般是这样制作的:首先通过丝网印刷法在陶瓷板材的表面涂覆上活性金属焊料,再与无氧铜层装夹,在真空钎焊炉中进行高温焊接,然后刻蚀出图形制作电路,最后再对表面图形进行化学镀。
三,氮化硅陶瓷基板AMB工艺与其他工艺的区别
相比于传统的DBC基板,采用AMB工艺制备的陶瓷基板,不仅具有更高的热导率、更好的铜层结合力,而且还有热阻更小、可靠性更高等优势。AMB氮化硅陶瓷覆铜基板,线路铜层较厚,导热率较高、热循环好、适合大功率和大温变的器件产品。
以上是小编阐述的关于,氮化硅陶瓷基板金属化工艺以及AMB工艺的特点,氮化硅陶瓷基板金属化后电气性能更好。AMB工艺不仅适用在氮化硅陶瓷基、还适应于氮化铝陶瓷基板以及增韧氧化铝陶瓷基板覆铜,铜层结合力都非常好。更多氮化硅陶瓷基板金属化相关可以咨询金瑞欣特种电路。